Santec的扫频光子分析仪（SPA-100）利用OFDR技术促进固态FMCW激光雷达的开发

激光雷达技术的使用正在迅速扩大，越来越多的人推动实施光子集成电路 （PIC） 作为大型机械激光雷达系统的替代品。M.Kamata和T.Baba正在横滨国立大学开发一个这样的PIC计划。

在设计认证过程中，研究人员检测到接收信号受到干扰，但不确定其来源。在排除了外部来源后，他们意识到需要检查设备的内部结构。然而，在显微镜下进行目视检查并没有提供任何答案。有必要进一步分析波导的光学特性。

PIC 的紧凑尺寸使得传统的测量方法，如 OTDR（光时域反射仪），由于其粗略的空间分辨率而不适合。取而代之的是，选择采用OFDR技术且空间分辨率小于5μm的SPA-100进行分析。

使用SPA-100，研究人员能够获得以前无法获得的有关设备内部结构的细节。经过分析，SPA-100 揭示了器件内部的高杂散反射点，这些反射点之间的间隔约为 6.5mm。 发现这些反射点对应于位于具有锯齿形波导的电路部分上的紧密波导弯曲。

SPA-100 的功能使研究人员能够精确地改进 PIC 设计，从而加快开发周转速度并更快地将产品推向市场。