解析SiPh设备中最小的结构
具有5 μm的采样分辨率,可以分辨出设备是内部最精细的结构
SPA-100是Santec可调谐激光器的扩展光学频域反射计(OFDR)设备,,可以分析最紧凑和复杂的光学器件,获取反射率、透射率和动态范围。
该系统采用OFDR(光频域反射)技术,使其能够在空间域中分析光纤设备、器件的背反射和传输特性。该系统产生类似OTDR(光时域反射)的轨迹,具有更高的分辨率和精度。该系统具有5 μm的采样分辨率,能够容易识别PIC (光子集成电路)和硅光子(SiPh)器件的内部结构。
随着可调谐激光器的选择不断扩展, OFDR系统配置也不断提高,进而在被测设备的重要光谱上发挥作用,该系统不受限于有限波长范围。
具有5 μm的采样分辨率,可以分辨出设备是内部最精细的结构
动态范围超过70dB、 波长范围可达160nm
分析反射率、定义不同材料的多个折射率、计算波导衰减、保存和加载数据。
使用光纤探头本身来感测与硅片的距离,以降低成像系统的成本
与OPM集成以实现SiPh对准