什么是MEMS ?

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的缩写，直译为微小机电系统，即由电驱动的非常小的机械。目前已经在各个领域被使用。例如能对人体动作做出反应的游戏控制器用的加速传感器，手机和PC用小型麦克风，以及演示用的投影仪中的小型反射镜阵列等，在我们身边有很多这样的例子。相对于传统的机械加工，诸如使用钻头之类的工具从大块材料上进行切割，MEMS是采用半导体工艺技术制造的。所以能够制造出精度为几微米（1微米为0.001毫米）的小型机器，显著减小各种零件的尺寸。另外，和半导体一样，可以一次制造出许多器件，从而降低器件价格。并且MEMS由硅基材料制成，是一种环保的材料。

Santec的MEMS技术

2002年以来，Santec一直与东京大学的田年吉实验室共同开发，并致力于将MEMS技术应用于光通信器件。以其基本设计为基础，通过MEMS进行代工生产，在2003年推出了MEMS可变光衰减器（图1）。可变光衰减器就像电气中的可变电阻一样，是光通信网络中随处可见的重要光学设备。研发的MEMS器件（图2），结合了一种特有的非对称驱动平行平板反射镜，从而简化了结构，实现了批量生产，并能在短时间内进行实际应用。我们已为许多客户提供服务，为全球光通信系统的通信基础设施提供支持。